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合金靶材
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合金靶材
发布时间:2015-06-10 来源:广光晶研 浏览次数: 分享到:
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高纯铜 靶材 (Cu)
物理性质
颜色
银白色
密度
8.94g/cm3
熔点
1083℃
技术指标
纯度
99.995%-99.9999%
致密度
>95%
切面平整度
优
公差
±0.1mm
晶粒度
晶粒均匀等轴,一致性高,平均晶粒尺寸<50μm
材质
Cu
品牌
广光晶研
产地
中国韶关
产品规格
圆靶:max直径350mm,厚度400mm
方靶:max长度1000mm,宽度300mm
可根据用户需要进行定制
制作工艺
真空熔炼、热机械处理
适用仪器
磁控溅射,电镜
产品用途
电子封装、半导体、太阳能光伏行业
产品优点
良好的导电性,延展性,抗腐蚀能力和表面性能
产品认证
ISO9001:2008;SGS;第三方认证
成分检测
见附表一
配套材料
提供氧化铜靶、硫化铜靶、铝靶、钛靶等靶材
背靶服务
提供无氧铜、钼靶背靶绑定服务
包装方式
真空包装
运输方式
顺丰、EMS
付款方式
电汇、款到发货
最小起订量
1片
供货能力
持续稳定
交货期
7-20天
检测报告
(99.9999% Cu)
Element
Value
(
≤ppm
)
Element
Value
(
≤ppm
)
Ag
0.5
Ni
0.05
Al
0.3
P
0.02
As
0.02
Pb
0.01
Bi
0.02
Si
0.3
Ca
0.1
Sn
0.05
Cd
0.1
Th
0.001
Cl
0.1
Ti
0.3
Cr
0.05
U
0.001
Fe
0.1
V
0.05
Ga
0.05
Zn
0.2
K
0.02
C
20
Li
0.02
S
5
Mg
0.2
O
10
Mn
0.05
N
1
Na
0.02
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